控制壓力MPa NC?NO :0.4~0.雙作用:0.3~0.4
v值(注4)0.25 0.22控制部位
使用氫氟酸或者含有氫氟酸
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手 機;189 17O7 4297
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OD1/4”軟管連接(接頭一體型)通徑φ4 φ3.5
由于ABSODEX 內(nèi)置有在接通電源時
可識別當前位置的分度器因此不再需要
用流體化學液體、純水、空氣、氮氣(注1)
耐壓MPa 1.0使用壓力(A→B)
MPa 0~0.5 參考下圖“使用壓力
閥座泄漏cm3/min 0(水壓時)
背壓MPa 0~0.5 參考下圖“使用壓力”
環(huán)境溫度°C 0~60(帶傳感器,0~50)
流體溫度°C 5~120(注3、注4) 5~90
執(zhí)行非常麻煩的原點搜索動作
從緊急停止狀態(tài)重新啟動時可從當前位置直接啟動
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