松下晶圓校準(zhǔn)傳感器技術(shù)樣本，Panasonic規(guī)格型號(hào)

雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高性能，因此可實(shí)現(xiàn)檢測(cè)。

投、受光部一體型，無(wú)需繁瑣的光軸調(diào)整。

并且，檢測(cè)距離及檢測(cè)寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域，可對(duì)應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。

模擬輸出(1～5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外，還具備方便的偏移調(diào)整功能，可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。

(注1)：出廠時(shí)固定于安裝基座狀態(tài)下的值。

檢測(cè)頭與控制器必須配套使用。

(1)按箭頭方向推入擋塊(鎖定)后，將安裝部前部嵌入35mm寬的DIN導(dǎo)軌中。

(2)將安裝部后部壓住35mm寬的DIN導(dǎo)軌并嵌入其中。

※拆卸時(shí)，將一字螺絲刀插入擋塊的凹槽中，向后拉出。

<使用螺絲時(shí)>

使用螺絲進(jìn)行安裝時(shí)，請(qǐng)使用M4盤(pán)頭螺絲，并將緊固扭矩設(shè)為1.2N·m以下。

(注1)： 無(wú)的測(cè)量條件為使用環(huán)境溫度+20℃。

(注2)： 出廠時(shí)固定于安裝基座狀態(tài)下的值。

(注1)： 無(wú)的測(cè)量條件為使用環(huán)境溫度+20℃。

(注2)： 分辨率為模擬輸出的峰值～峰值距離換算值(20MHz以下帶域)。

(注3)： 檢測(cè)頭和控制器組合后測(cè)定時(shí)的代表示例。

(注1):模擬輸出未裝備短路保護(hù)電路。

請(qǐng)勿直接連接電源或容性負(fù)載。

符號(hào)???D:電源逆接保護(hù)用二極管

ZD:電涌電壓吸收用齊納二極管

請(qǐng)勿將本產(chǎn)品作為BZ人身安全的檢測(cè)裝置使用。

欲進(jìn)行以BZ人身安全為目的的檢測(cè)，請(qǐng)使用符合OSHA、ANSI以及IEC等各國(guó)有關(guān)人身安全BZ的法律和標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品。

安裝檢測(cè)頭時(shí)，如下圖所示，使用2個(gè)M4內(nèi)六角螺栓(請(qǐng)另行準(zhǔn)備)，以0.5N·m以下的扭矩緊固。

請(qǐng)勿拆下固定投、受光器和安裝基座的固定螺絲。否則，輸出值會(huì)變化。

請(qǐng)勿使用投、受光器側(cè)面的安裝孔以螺絲安裝。

<使用DIN導(dǎo)軌時(shí)>

使用安全的紅色LED作為光源，無(wú)需任何繁雜的安全措施。

無(wú)需使用激光時(shí)必備的保護(hù)罩，在美國(guó)使用時(shí)不需要符合FDA標(biāo)準(zhǔn)。

使用ONE SHOT連接器將檢測(cè)頭與控制器連接。

配線工時(shí)降至較限度，維護(hù)輕松。

檢測(cè)頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。

實(shí)現(xiàn)光電傳感器同等的功耗。

松下晶圓校準(zhǔn)傳感器技術(shù)樣本，Panasonic規(guī)格型號(hào)