松下晶圓定位傳感器技術(shù)參數(shù)，SUNX晶圓定位傳感器

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聯(lián)系人：楊艷鳳

上海市嘉定區(qū)江橋鎮(zhèn)嘉涌路99弄6號(hào)713室

型號(hào) M-DW1

中心測(cè)量距離 45mm

檢測(cè)物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)

可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3)

檢測(cè)角度 12.5±5°(注4)

晶圓間距 間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5)

適用穩(wěn)定指示燈 綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈)

定時(shí)器功能 裝備約2ms固定斷開(kāi)延遲定時(shí)器　有效/無(wú)效切換式

投光停止輸入 信號(hào)條件

?投光停止：斷開(kāi)或4?8V

?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度切換輸入 信號(hào)條件

?輸入OFF：斷開(kāi)或4?8V

?輸入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度設(shè)定 背面教導(dǎo)：按本體靈敏度設(shè)定按鈕運(yùn)行

檢測(cè)靈敏度切換：本體開(kāi)關(guān)2bit、4級(jí)或外部輸入的2級(jí)選擇式

環(huán)晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開(kāi)放式晶圓盒

電源電壓 12?24V DC±10%　脈動(dòng)P-P10%以下

消耗電流 65mA以下

輸出 NPN輸出／PNP輸出　可由切換開(kāi)關(guān)選擇

<NPN輸出>

NPN開(kāi)路集電極晶體管

?較大流入電流：100mA 

?外加境

性

能 保護(hù)構(gòu)造 IP20(IEC)

使用環(huán)境溫度 0?＋55℃(注意不可結(jié)露)、存儲(chǔ)時(shí)：?10?＋70℃

使用環(huán)境濕度 35?85%RH、存儲(chǔ)時(shí)： 35?85%RH

使用環(huán)境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下

耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間

絕緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

耐振動(dòng) 頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時(shí)

耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回

投光元件電壓：30V DC以下(輸出和0V之間)

?剩余電壓：1V以下(流入電流為100mA時(shí))

　　　　　　　 0.4V以下(流入電流為16mA時(shí))

<PNP輸出>

PNP開(kāi)路集電極晶體管

?較大源電流：100mA

?外加電壓：30V DC以下(輸出和+V之間)

?剩余電壓：1V以下(源電流為100mA時(shí))

　　　　　　　 0.4V以下(源電流為16mA時(shí))

　 輸出動(dòng)作 可用切換開(kāi)關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON

短路保護(hù) 裝備(自動(dòng)復(fù)位)

反應(yīng)時(shí)間 500μs以下

工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時(shí)亮起)

松下晶圓定位傳感器技術(shù)參數(shù)，SUNX晶圓定位傳感器