smc平穩(wěn)出氣閥XVD2-02V
保持旋轉(zhuǎn)的初始供氣調(diào)節(jié)螺母r以右側(cè),小可能
初始空氣供給流量是在該點銘牌和調(diào)整
螺母標記對齊接近的地方扭矩感受。 (注意不要
收緊初始空氣供應(yīng)調(diào)節(jié)螺母4進一步過這一點上,
因為這可能會導(dǎo)致部件損壞。)
確認初始空氣供應(yīng)調(diào)節(jié)螺母r的位置之后
和初始空氣供給刻度板!7的角度對準刻度,
通過旋轉(zhuǎn)螺母向左調(diào)整初始空氣供給量。據(jù)
以“轉(zhuǎn)數(shù)和流動特性”作為
示出,設(shè)置初始空氣供給流動。通過擰緊設(shè)置,鎖定后
初始空氣供給鎖螺絲!50.5 N·cm的扭矩。
閥門/針型閥集成建設(shè) - 需要以
前只有1/4的管道空間模型。
通過切換到主閥電路,主閥門
打開,全量被引入到室中。
用平頭螺絲刀輕輕轉(zhuǎn)動初始供氣鎖
螺絲!5要左側(cè),放松它,直到它停止。
顆粒顯著減少通過使用一個金屬膜片的板部分
雙方初的送風氣流和主供氣能進行調(diào)整。
返回時,引入一次性全部供給壓力
(清潔的空氣/ N2)的全部金額
在真空室中的氣氛會引起微粒就可以進入
室。為了防止這種情況,以后慢慢
引入的初始空氣供給和設(shè)置
的壓力,切換到主閥回路供給的全部金額。
在初始狀態(tài)下,所述子閥打開和設(shè)
置金額(針閥)緩慢供給入腔室。
通過在片材部分使用金屬膜片的微粒顯著降
的兩個初始空氣供應(yīng)和主空氣供給量可以調(diào)節(jié)。
省空間閥門/針型閥集成建設(shè) - 要求
只有1/4的管道空間以前的型號。
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